Ο ρόλος του εξαφθοριούχου θείου σε χάραξη νιτριδίου πυριτίου

Το εξαφθορίδιο του θείου είναι ένα αέριο με εξαιρετικές μονωτικές ιδιότητες και χρησιμοποιείται συχνά σε πυρκαγιά τόξου υψηλής τάσης και μετασχηματιστές, γραμμές μετάδοσης υψηλής τάσης, μετασχηματιστές κλπ. Η ηλεκτρονική βαθμολογία υψηλής ποιότητας θείο εξαφθορίδη είναι ένα ιδανικό ηλεκτρονικό χαράγμα, το οποίο χρησιμοποιείται ευρέως στον τομέα της τεχνολογίας μικροηλεκτρονικής. Σήμερα, ο ειδικός επεξεργαστής φυσικού αερίου Niu Ruide Yueyue θα εισαγάγει την εφαρμογή του εξαφθοριούχου θείου σε χάραξη νιτριδίου πυριτίου και την επίδραση διαφορετικών παραμέτρων.

Συζητάμε τη διαδικασία χάραξης πλάσματος SF6, συμπεριλαμβανομένης της αλλαγής της ισχύος του πλάσματος, της αναλογίας αερίου του SF6/He και της προσθήκης του κατιονικού αερίου O2, συζητώντας την επιρροή του στο ρυθμό χάραξης του στρώματος προστασίας του SINX του TFT και χρησιμοποιώντας την ακτινοβολία πλάσματος. Η σχέση μεταξύ της μεταβολής του ρυθμού χάραξης SINX και της συγκέντρωσης των ειδών πλάσματος.

Μελέτες έχουν διαπιστώσει ότι όταν αυξάνεται η ισχύς του πλάσματος, ο ρυθμός χάραξης αυξάνεται. Εάν ο ρυθμός ροής του SF6 στο πλάσμα αυξάνεται, η συγκέντρωση του ατόμου F αυξάνεται και συσχετίζεται θετικά με τον ρυθμό χάραξης. Επιπλέον, μετά την προσθήκη του κατιονικού αερίου O2 κάτω από τον σταθερό συνολικό ρυθμό ροής, θα έχει ως αποτέλεσμα την αύξηση του ρυθμού χάραξης, αλλά κάτω από διαφορετικές αναλογίες ροής O2/SF6, θα υπάρξουν διαφορετικοί μηχανισμοί αντίδρασης, ο οποίος μπορεί να διαιρεθεί σε τρία μέρη: (1) Ο λόγος ροής O2/SF6 είναι πολύ μικρός, το O2 μπορεί να βοηθήσει η αποσύνδεση του SF6 και ο ρυθμός χοίρου σε αυτή τη στιγμή, ο O2 δεν μπορεί να προστεθεί. (2) Όταν η αναλογία ροής O2/SF6 είναι μεγαλύτερος από 0,2 στο διάστημα που πλησιάζει το 1, αυτή τη στιγμή, λόγω της μεγάλης ποσότητας αποσύνδεσης του SF6 για να σχηματίσει άτομα F, ο ρυθμός χάραξης είναι ο υψηλότερος. Αλλά ταυτόχρονα, τα άτομα Ο στο πλάσμα αυξάνονται επίσης και είναι εύκολο να σχηματιστούν Siox ή Sinxo (YX) με την επιφάνεια του φιλμ Sinx και όσο πιο πολύ αυξάνονται τα άτομα O, τόσο πιο δύσκολο θα είναι τα άτομα F για την αντίδραση χάραξης. Επομένως, ο ρυθμός χάραξης αρχίζει να επιβραδύνεται όταν ο λόγος O2/SF6 είναι κοντά στο 1. (3) Όταν ο λόγος O2/SF6 είναι μεγαλύτερος από 1, ο ρυθμός χάραξης μειώνεται. Λόγω της μεγάλης αύξησης του O2, τα διαχωρισμένα άτομα F συγκρούονται με O2 και μορφή, γεγονός που μειώνει τη συγκέντρωση ατόμων F, με αποτέλεσμα τη μείωση του ρυθμού χάραξης. Μπορεί να φανεί από αυτό ότι όταν προστίθεται O2, ο λόγος ροής του O2/SF6 είναι μεταξύ 0,2 και 0,8 και μπορεί να ληφθεί ο καλύτερος ρυθμός χάραξης.