Σιλάνιο (SiH4)

Τεχνικές παράμετροι

Το σιλάνιο είναι μια ένωση πυριτίου και υδρογόνου. Είναι ένας γενικός όρος για μια σειρά ενώσεων, συμπεριλαμβανομένου του μονοσιλανίου (SiH4), του δισιλανίου (Si2H6) και ορισμένων ενώσεων πυριτίου-υδρογόνου υψηλότερου επιπέδου. Μεταξύ αυτών, το μονοσιλάνιο είναι το πιο συνηθισμένο, μερικές φορές αναφέρεται ως σιλάνιο για συντομία. Το σιλάνιο είναι ένα άχρωμο αέριο με μια αηδιαστική μυρωδιά σκόρδου. Διαλυτό στο νερό, σχεδόν αδιάλυτο σε αιθανόλη, αιθέρα, βενζόλιο, χλωροφόρμιο πυριτίου και τετραχλωριούχο πυρίτιο. Οι χημικές ιδιότητες των σιλανίων είναι πολύ πιο δραστικές από τα αλκάνια και οξειδώνονται εύκολα. Αυθόρμητη καύση μπορεί να συμβεί όταν έρχεται σε επαφή με τον αέρα. Δεν αντιδρά με άζωτο κάτω από 25°C και δεν αντιδρά με ενώσεις υδρογονανθράκων σε θερμοκρασία δωματίου. Η πυρκαγιά και η έκρηξη του σιλανίου είναι αποτέλεσμα της αντίδρασης με οξυγόνο. Το σιλάνιο είναι εξαιρετικά ευαίσθητο στο οξυγόνο και τον αέρα. Το σιλάνιο με μια ορισμένη συγκέντρωση θα αντιδράσει επίσης εκρηκτικά με οξυγόνο σε θερμοκρασία -180°C. Το σιλάνιο έχει γίνει το σημαντικότερο ειδικό αέριο που χρησιμοποιείται στις διεργασίες μικροηλεκτρονικής ημιαγωγών και χρησιμοποιείται στην παρασκευή διαφόρων μικροηλεκτρονικών μεμβρανών, συμπεριλαμβανομένων μονοκρυσταλλικών μεμβρανών, μικροκρυσταλλικών, πολυκρυσταλλικών, οξειδίων του πυριτίου, νιτριδίων του πυριτίου και μεταλλικών πυριτιδίων. Οι μικροηλεκτρονικές εφαρμογές του σιλανίου εξακολουθούν να αναπτύσσονται σε βάθος: επιταξία χαμηλής θερμοκρασίας, επιλεκτική επιταξία και ετεροεπιταξιακή επιταξία. Όχι μόνο για συσκευές πυριτίου και ολοκληρωμένα κυκλώματα πυριτίου, αλλά και για σύνθετες συσκευές ημιαγωγών (αρσενίδιο του γαλλίου, καρβίδιο του πυριτίου κ.λπ.). Έχει επίσης εφαρμογές στην παρασκευή υλικών κβαντικών φρεατίων υπερπλέγματος. Μπορεί να ειπωθεί ότι το σιλάνιο χρησιμοποιείται σε όλες σχεδόν τις προηγμένες γραμμές παραγωγής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων στη σύγχρονη εποχή. Η εφαρμογή του σιλανίου ως μεμβράνης και επικάλυψης που περιέχει πυρίτιο έχει επεκταθεί από την παραδοσιακή βιομηχανία μικροηλεκτρονικής σε διάφορους τομείς όπως ο χάλυβας, τα μηχανήματα, τα χημικά και η οπτική. Μια άλλη πιθανή εφαρμογή του σιλανίου είναι η κατασκευή κεραμικών εξαρτημάτων κινητήρων υψηλής απόδοσης, ειδικά η χρήση του σιλανίου για την κατασκευή πυριτιούχου (Si3N4, SiC, κ.λπ.) με τεχνολογία μικροπυριτίου που έχει προσελκύσει όλο και περισσότερη προσοχή.

Εφαρμογή:

①Ηλεκτρονικό:

Το σιλάνιο εφαρμόζεται σε στρώματα πολυκρυσταλλικού πυριτίου σε πλακίδια πυριτίου κατά την κατασκευή ημιαγωγών και στεγανωτικών υλικών.

②Ηλιακή ενέργεια:

Το σιλάνιο χρησιμοποιείται στην κατασκευή ηλιακών φωτοβολταϊκών μονάδων.

③Βιομηχανική:

Χρησιμοποιείται σε πράσινο γυαλί εξοικονόμησης ενέργειας και εφαρμόζεται στη διαδικασία λεπτής μεμβράνης εναπόθεσης ατμών.

Κανονική συσκευασία:

Πλεονέκτημα:

①Πάνω από δέκα χρόνια στην αγορά.

②Κατασκευαστής πιστοποιητικών ISO;

③Γρήγορη παράδοση;

④Σταθερή πηγή πρώτης ύλης.

⑤Σύστημα ανάλυσης σε απευθείας σύνδεση για τον ποιοτικό έλεγχο σε κάθε βήμα.

⑥Υψηλή απαίτηση και σχολαστική διαδικασία για τον χειρισμό του κυλίνδρου πριν από την πλήρωση.

⑦Καθαρότητα: ηλεκτρονική ποιότητα υψηλής καθαρότητας.

⑧Χρήση: υλικά ηλιακών κυψελών· κατασκευή πολυπυριτίου υψηλής καθαρότητας, οξειδίου του πυριτίου και οπτικών ινών· κατασκευή χρωματισμένου γυαλιού.