Η τεχνολογία ξηράς χάραξης είναι μία από τις βασικές διαδικασίες. Το ξηρό αέριο χάραξης είναι ένα βασικό υλικό στην κατασκευή ημιαγωγών και μια σημαντική πηγή αερίου για τη χάραξη πλάσματος. Η απόδοσή του επηρεάζει άμεσα την ποιότητα και την απόδοση του τελικού προϊόντος. Αυτό το άρθρο μοιράζεται κυρίως ποια είναι τα κοινά χρησιμοποιούμενα αέρια χάραξης στη διαδικασία ξηράς χάραξης.
Αέρια με βάση το φθόριο: όπωςΤετραφλουρίδη άνθρακα (CF4), Hexafluoroethane (C2F6), τριφθορομεθάνιο (CHF3) και υπερφθοροπροπανίου (C3F8). Αυτά τα αέρια μπορούν να παράγουν αποτελεσματικά πτητικά φθορίδια κατά τη χάραξη του πυριτίου και των ενώσεων πυριτίου, επιτυγχάνοντας έτσι την απομάκρυνση του υλικού.
Αέρια με βάση το χλώριο: όπως το χλώριο (CL2),Trichloride Boron (BCL3)και τετραχλωρίδιο πυριτίου (SICL4). Τα αέρια με βάση το χλώριο μπορούν να παρέχουν ιόντα χλωριούχου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης, η οποία βοηθά στη βελτίωση του ρυθμού χάραξης και της εκλεκτικότητας.
Αέρια με βάση το βρώμιο: όπως το βρωμίρο (BR2) και το ιωδιούχο βρωμίου (IBR). Τα αέρια με βάση το βρώμιο μπορούν να παρέχουν καλύτερη απόδοση χάραξης σε ορισμένες διαδικασίες χάραξης, ειδικά όταν χάραξε σκληρά υλικά όπως καρβίδιο του πυριτίου.
Με βάση τα αέρια με βάση το άζωτο και το οξυγόνο: όπως το τριφθορίδιο αζώτου (NF3) και το οξυγόνο (Ο2). Αυτά τα αέρια χρησιμοποιούνται συνήθως για τη ρύθμιση των συνθηκών αντίδρασης στη διαδικασία χάραξης για τη βελτίωση της επιλεκτικότητας και της κατευθυντικότητας της χάραξης.
Αυτά τα αέρια επιτυγχάνουν ακριβή χάραξη της επιφάνειας του υλικού μέσω ενός συνδυασμού φυσικών ψεκασμού και χημικών αντιδράσεων κατά τη διάρκεια της χάραξης στο πλάσμα. Η επιλογή του αέριο χάραξης εξαρτάται από τον τύπο του υλικού που πρέπει να χαθεί, οι απαιτήσεις επιλεκτικότητας της χάραξης και ο επιθυμητός ρυθμός χάραξης.
Χρόνος δημοσίευσης: Φεβ-08-2025
