Η τεχνολογία ξηρής χάραξης είναι μια από τις βασικές διαδικασίες. Το αέριο ξηρής χάραξης είναι ένα βασικό υλικό στην κατασκευή ημιαγωγών και μια σημαντική πηγή αερίου για τη χάραξη με πλάσμα. Η απόδοσή του επηρεάζει άμεσα την ποιότητα και την απόδοση του τελικού προϊόντος. Αυτό το άρθρο παρουσιάζει κυρίως ποια είναι τα συνήθως χρησιμοποιούμενα αέρια χάραξης στη διαδικασία ξηρής χάραξης.
Αέρια με βάση το φθόριο: όπωςτετραφθοριούχος άνθρακας (CF4), εξαφθοροαιθάνιο (C2F6), τριφθορομεθάνιο (CHF3) και υπερφθοροπροπάνιο (C3F8). Αυτά τα αέρια μπορούν να παράγουν αποτελεσματικά πτητικά φθορίδια κατά την χάραξη πυριτίου και ενώσεων πυριτίου, επιτυγχάνοντας έτσι την αφαίρεση υλικού.
Αέρια με βάση το χλώριο: όπως το χλώριο (Cl2),τριχλωριούχο βόριο (BCl3)και τετραχλωριούχο πυρίτιο (SiCl4). Τα αέρια με βάση το χλώριο μπορούν να παρέχουν ιόντα χλωρίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης, γεγονός που βοηθά στη βελτίωση του ρυθμού και της επιλεκτικότητας χάραξης.
Αέρια με βάση το βρώμιο: όπως το βρώμιο (Br2) και το ιωδιούχο βρώμιο (IBr). Τα αέρια με βάση το βρώμιο μπορούν να παρέχουν καλύτερη απόδοση χάραξης σε ορισμένες διεργασίες χάραξης, ειδικά κατά τη χάραξη σκληρών υλικών όπως το καρβίδιο του πυριτίου.
Αέρια με βάση το άζωτο και το οξυγόνο: όπως το τριφθοριούχο άζωτο (NF3) και το οξυγόνο (O2). Αυτά τα αέρια χρησιμοποιούνται συνήθως για την προσαρμογή των συνθηκών αντίδρασης στη διαδικασία χάραξης, ώστε να βελτιωθεί η επιλεκτικότητα και η κατευθυντικότητα της χάραξης.
Αυτά τα αέρια επιτυγχάνουν ακριβή χάραξη της επιφάνειας του υλικού μέσω ενός συνδυασμού φυσικού ψεκασμού και χημικών αντιδράσεων κατά τη χάραξη με πλάσμα. Η επιλογή του αερίου χάραξης εξαρτάται από τον τύπο του υλικού που πρόκειται να χαρχθεί, τις απαιτήσεις επιλεκτικότητας της χάραξης και τον επιθυμητό ρυθμό χάραξης.
Ώρα δημοσίευσης: 08 Φεβρουαρίου 2025
