Ηλεκτρονικόςειδικά αέριαείναι ένας σημαντικός κλάδος ειδικών αερίων. Διεισδύουν σχεδόν κάθε σύνδεση παραγωγής ημιαγωγών και είναι απαραίτητες πρώτες ύλες για την παραγωγή ηλεκτρονικών βιομηχανιών, όπως ολοκληρωμένα κυκλώματα εξαιρετικά μεγάλης κλίμακας, συσκευές επίπεδης οθόνης και ηλιακά κύτταρα.

Στην τεχνολογία ημιαγωγών, χρησιμοποιούνται ευρέως τα αέρια που περιέχουν φθορίου. Επί του παρόντος, στην παγκόσμια αγορά ηλεκτρονικών φυσικών αερίων, τα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο αντιπροσωπεύουν περίπου το 30% του συνόλου. Τα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθορίου αποτελούν σημαντικό στοιχείο ειδικών ηλεκτρονικών αερίων στον τομέα των ηλεκτρονικών πληροφοριών. Χρησιμοποιούνται κυρίως ως παράγοντες καθαρισμού και παράγοντες χάραξης και μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν ως ντοπατά, υλικά σχηματισμού ταινιών κλπ. Σε αυτό το άρθρο, ο συγγραφέας θα σας μεταφέρει για να κατανοήσετε τα κοινά αέρια που περιέχουν φθορίου.

Τα παρακάτω χρησιμοποιούνται συνήθως αέρια που περιέχουν φθόριο

Τριφθορίδη αζώτου (NF3): Ένα αέριο που χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό και την αφαίρεση των αποθέσεων, που συνήθως χρησιμοποιούνται για τους θαλάμους αντίδρασης καθαρισμού και τις επιφάνειες του εξοπλισμού.

Hexafluoride θείου (SF6): Ένας παράγοντας φθορίνης που χρησιμοποιείται σε διεργασίες εναπόθεσης οξειδίου και ως μονωτικό αέριο για την πλήρωση μονωτικών μέσων.

Φθορίδιο υδρογόνου (HF): Χρησιμοποιείται για την απομάκρυνση οξειδίων από την επιφάνεια του πυριτίου και ως χαραγμένο για τη χάραξη πυρίτιο και άλλα υλικά.

Φθορίδιο αζώτου (NF): Χρησιμοποιείται για τη χαράξτε τα υλικά όπως το νιτρίδιο του πυριτίου (αμαρτία) και το νιτρίδιο αλουμινίου (ALN).

Τριφθορομεθάνιο (CHF3) καιτετραφθορομεθάνιο (CF4): Χρησιμοποιείται για τη χαράξτε τα υλικά φθοριούχου όπως το φθόριο πυριτίου και το φθοριούχο αλουμινίου.

Ωστόσο, τα αέρια που περιέχουν φθορίου έχουν ορισμένους κινδύνους, συμπεριλαμβανομένης της τοξικότητας, της διαβρωτικότητας και της ευφλεκτότητας.

Τοξικότητα

Ορισμένα αέρια που περιέχουν φθορίου είναι τοξικά, όπως το φθοριούχο υδρογόνο (HF), του οποίου ο ατμός είναι εξαιρετικά ενοχλητικός για το δέρμα και την αναπνευστική οδό και επιβλαβές για την ανθρώπινη υγεία.

Διαβρωτικότητα

Το υδρογόνο φθοριούχο και ορισμένα φθορίδια είναι εξαιρετικά διαβρωτικά και μπορούν να προκαλέσουν σοβαρή βλάβη στο δέρμα, τα μάτια και την αναπνευστική οδό.

Ευφυείς

Ορισμένα φθορίδια είναι εύφλεκτα και αντιδρούν με οξυγόνο ή νερό στον αέρα για να απελευθερώσουν έντονη θερμότητα και τοξικά αέρια, τα οποία μπορεί να προκαλέσουν φωτιά ή έκρηξη.

Κίνδυνος υψηλής πίεσης

Ορισμένα φθοριωμένα αέρια είναι εκρηκτικά υπό υψηλή πίεση και απαιτούν ιδιαίτερη φροντίδα όταν χρησιμοποιούνται και αποθηκεύονται.

Αντίκτυπο στο περιβάλλον

Τα αέρια που περιέχουν φθορίου έχουν υψηλές ατμοσφαιρικές διάρκειας ζωής και τιμές GWP, οι οποίες έχουν καταστρεπτική επίδραση στο στρώμα ατμοσφαιρικού όζοντος και μπορεί να προκαλέσουν υπερθέρμανση του πλανήτη και ρύπανση του περιβάλλοντος.

Η εφαρμογή αερίων σε αναδυόμενα πεδία, όπως τα ηλεκτρονικά, συνεχίζει να εμβαθύνει, φέρνοντας μια μεγάλη ποσότητα νέας ζήτησης για βιομηχανικά αέρια. Με βάση τη μεγάλη ποσότητα νέας παραγωγικής ικανότητας των μεγάλων ηλεκτρονικών εξαρτημάτων, όπως οι ημιαγωγοί και τα πάνελ προβολής στην ηπειρωτική Κίνα τα επόμενα χρόνια, καθώς και η έντονη ζήτηση για υποκατάσταση των ηλεκτρονικών χημικών υλικών, η εγχώρια ηλεκτρονική βιομηχανία φυσικού αερίου θα εισέλθει σε υψηλό ρυθμό ανάπτυξης.