Ηλεκτρονικόςειδικά αέριααποτελούν σημαντικό κλάδο ειδικών αερίων. Διεισδύουν σχεδόν σε κάθε κρίκο παραγωγής ημιαγωγών και αποτελούν απαραίτητες πρώτες ύλες για την παραγωγή ηλεκτρονικών βιομηχανιών όπως ολοκληρωμένα κυκλώματα εξαιρετικά μεγάλης κλίμακας, συσκευές επίπεδων οθονών και ηλιακές κυψέλες.

Στην τεχνολογία ημιαγωγών, τα αέρια που περιέχουν φθόριο χρησιμοποιούνται ευρέως. Επί του παρόντος, στην παγκόσμια αγορά ηλεκτρονικού αερίου, τα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο αντιπροσωπεύουν περίπου το 30% του συνόλου. Τα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο αποτελούν σημαντικό συστατικό των ειδικών ηλεκτρονικών αερίων στον τομέα του ηλεκτρονικού πληροφοριακού υλικού. Χρησιμοποιούνται κυρίως ως καθαριστικά και χαρακτικά και μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν ως πρόσμικτες, υλικά που σχηματίζουν φιλμ κ.λπ. Σε αυτό το άρθρο, ο συγγραφέας θα σας οδηγήσει να κατανοήσετε τα κοινά αέρια που περιέχουν φθόριο.

Τα ακόλουθα είναι συνήθως χρησιμοποιούμενα αέρια που περιέχουν φθόριο

Τριφθοριούχο άζωτο (NF3): Αέριο που χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό και την αφαίρεση ιζημάτων, που χρησιμοποιείται συνήθως για τον καθαρισμό θαλάμων αντίδρασης και επιφανειών εξοπλισμού.

Εξαφθοριούχο θείο (SF6): Ένας παράγοντας φθορίωσης που χρησιμοποιείται σε διεργασίες εναπόθεσης οξειδίων και ως μονωτικό αέριο για την πλήρωση μονωτικών μέσων.

Υδροφθόριο (HF): Χρησιμοποιείται για την αφαίρεση οξειδίων από την επιφάνεια του πυριτίου και ως χαρακτικό για τη χάραξη του πυριτίου και άλλων υλικών.

Φθοριούχο άζωτο (NF): Χρησιμοποιείται για την χάραξη υλικών όπως το νιτρίδιο του πυριτίου (SiN) και το νιτρίδιο του αργιλίου (AlN).

Τριφθορομεθάνιο (CHF3) καιτετραφθορομεθάνιο (CF4): Χρησιμοποιείται για την χάραξη φθοριούχων υλικών όπως το φθοριούχο πυρίτιο και το φθοριούχο αλουμίνιο.

Ωστόσο, τα αέρια που περιέχουν φθόριο έχουν ορισμένους κινδύνους, συμπεριλαμβανομένης της τοξικότητας, της διαβρωτικότητας και της ευφλεκτότητας.

Τοξικότητα

Ορισμένα αέρια που περιέχουν φθόριο είναι τοξικά, όπως το υδροφθόριο (HF), του οποίου ο ατμός είναι πολύ ερεθιστικός για το δέρμα και την αναπνευστική οδό και είναι επιβλαβής για την ανθρώπινη υγεία.

Διαβρωτικότητα

Το υδροφθόριο και ορισμένα φθόριο είναι εξαιρετικά διαβρωτικά και μπορεί να προκαλέσουν σοβαρές βλάβες στο δέρμα, τα μάτια και την αναπνευστική οδό.

Ευφλεκτότητα

Ορισμένα φθορίδια είναι εύφλεκτα και αντιδρούν με οξυγόνο ή νερό στον αέρα για να απελευθερώσουν έντονη θερμότητα και τοξικά αέρια, τα οποία μπορεί να προκαλέσουν πυρκαγιά ή έκρηξη.

Κίνδυνος υψηλής πίεσης

Ορισμένα φθοριούχα αέρια είναι εκρηκτικά υπό υψηλή πίεση και απαιτούν ιδιαίτερη προσοχή όταν χρησιμοποιούνται και αποθηκεύονται.

Επιπτώσεις στο περιβάλλον

Τα αέρια που περιέχουν φθόριο έχουν υψηλές ατμοσφαιρικές ζωές και τιμές GWP, οι οποίες έχουν καταστροφική επίδραση στην ατμοσφαιρική στιβάδα του όζοντος και μπορεί να προκαλέσουν υπερθέρμανση του πλανήτη και ρύπανση του περιβάλλοντος.

Η εφαρμογή αερίων σε αναδυόμενα πεδία όπως τα ηλεκτρονικά συνεχίζει να εμβαθύνει, φέρνοντας μεγάλη ποσότητα νέας ζήτησης για βιομηχανικά αέρια. Με βάση τη μεγάλη ποσότητα νέας παραγωγικής ικανότητας μεγάλων ηλεκτρονικών εξαρτημάτων όπως ημιαγωγοί και πάνελ οθόνης στην ηπειρωτική Κίνα τα επόμενα λίγα χρόνια, καθώς και η ισχυρή ζήτηση για υποκατάσταση εισαγωγών ηλεκτρονικών χημικών υλικών, η εγχώρια βιομηχανία ηλεκτρονικών φυσικού αερίου θα ξεκινήσει υψηλό ρυθμό ανάπτυξης.