Ηλεκτρονικόςειδικά αέριααποτελούν έναν σημαντικό κλάδο των ειδικών αερίων. Διεισδύουν σχεδόν σε κάθε κρίκο της παραγωγής ημιαγωγών και αποτελούν απαραίτητες πρώτες ύλες για την παραγωγή ηλεκτρονικών βιομηχανιών, όπως ολοκληρωμένα κυκλώματα εξαιρετικά μεγάλης κλίμακας, συσκευές επίπεδης οθόνης και ηλιακά κύτταρα.

Στην τεχνολογία ημιαγωγών, τα αέρια που περιέχουν φθόριο χρησιμοποιούνται ευρέως. Σήμερα, στην παγκόσμια αγορά ηλεκτρονικών αερίων, τα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο αντιπροσωπεύουν περίπου το 30% του συνόλου. Τα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο αποτελούν σημαντικό συστατικό των ειδικών ηλεκτρονικών αερίων στον τομέα του ηλεκτρονικού πληροφοριακού υλικού. Χρησιμοποιούνται κυρίως ως καθαριστικά και χαρακτικά μέσα, και μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν ως προσμίξεις, υλικά που σχηματίζουν φιλμ κ.λπ. Σε αυτό το άρθρο, ο συγγραφέας θα σας καθοδηγήσει στην κατανόηση των κοινών αερίων που περιέχουν φθόριο.

Τα ακόλουθα είναι συνήθως χρησιμοποιούμενα αέρια που περιέχουν φθόριο

Τριφθοριούχο άζωτο (NF3): Αέριο που χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό και την απομάκρυνση των αποθέσεων, συνήθως χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό των θαλάμων αντίδρασης και των επιφανειών του εξοπλισμού.

Εξαφθοριούχο θείο (SF6): Φθοριούχος παράγοντας που χρησιμοποιείται σε διεργασίες εναπόθεσης οξειδίων και ως μονωτικό αέριο για την πλήρωση μονωτικών μέσων.

Υδροφθόριο (HF): Χρησιμοποιείται για την αφαίρεση οξειδίων από την επιφάνεια του πυριτίου και ως χαρακτικό για τη χάραξη του πυριτίου και άλλων υλικών.

Φθοριούχο άζωτο (NF): Χρησιμοποιείται για τη χάραξη υλικών όπως το νιτρίδιο του πυριτίου (SiN) και το νιτρίδιο του αργιλίου (AlN).

Τριφθορομεθάνιο (CHF3) καιτετραφθορομεθάνιο (CF4)Χρησιμοποιείται για τη χάραξη φθοριούχων υλικών όπως φθοριούχο πυρίτιο και φθοριούχο αργίλιο.

Ωστόσο, τα αέρια που περιέχουν φθόριο ενέχουν ορισμένους κινδύνους, όπως τοξικότητα, διαβρωτικότητα και ευφλεκτότητα.

Τοξικότητα

Ορισμένα αέρια που περιέχουν φθόριο είναι τοξικά, όπως το υδροφθόριο (HF), του οποίου οι ατμοί είναι ιδιαίτερα ερεθιστικοί για το δέρμα και την αναπνευστική οδό και επιβλαβείς για την ανθρώπινη υγεία.

Διαβρωτικότητα

Το υδροφθόριο και ορισμένα φθορίδια είναι εξαιρετικά διαβρωτικά και μπορούν να προκαλέσουν σοβαρές βλάβες στο δέρμα, τα μάτια και την αναπνευστική οδό.

Ευφλεκτότητα

Ορισμένα φθορίδια είναι εύφλεκτα και αντιδρούν με το οξυγόνο ή το νερό στον αέρα απελευθερώνοντας έντονη θερμότητα και τοξικά αέρια, τα οποία μπορεί να προκαλέσουν πυρκαγιά ή έκρηξη.

Κίνδυνος υψηλής πίεσης

Ορισμένα φθοριούχα αέρια είναι εκρηκτικά υπό υψηλή πίεση και απαιτούν ιδιαίτερη προσοχή κατά τη χρήση και αποθήκευση.

Επιπτώσεις στο περιβάλλον

Τα αέρια που περιέχουν φθόριο έχουν υψηλό χρόνο ζωής στην ατμόσφαιρα και τιμές GWP, τα οποία έχουν καταστροφική επίδραση στο ατμοσφαιρικό στρώμα του όζοντος και μπορεί να προκαλέσουν υπερθέρμανση του πλανήτη και περιβαλλοντική ρύπανση.

Η εφαρμογή αερίων σε αναδυόμενους τομείς όπως η ηλεκτρονική συνεχίζει να εμβαθύνει, φέρνοντας μεγάλη νέα ζήτηση για βιομηχανικά αέρια. Με βάση τη μεγάλη νέα παραγωγική ικανότητα σημαντικών ηλεκτρονικών εξαρτημάτων, όπως ημιαγωγοί και οθόνες, στην ηπειρωτική Κίνα τα επόμενα χρόνια, καθώς και την ισχυρή ζήτηση για υποκατάσταση εισαγωγών ηλεκτρονικών χημικών υλικών, η εγχώρια βιομηχανία ηλεκτρονικών αερίων θα σημειώσει υψηλό ρυθμό ανάπτυξης.