Χρήσεις του Hungsten Hexafluoride (WF6)

Το εξελιφρόριο βολφραμίου (WF6) εναποτίθεται στην επιφάνεια του δίσκου μέσω μιας διαδικασίας CVD, γεμίζοντας τα μεταλλικά διασυνδέσεις και σχηματίζοντας τη μεταλλική διασύνδεση μεταξύ των στρωμάτων.

Ας μιλήσουμε πρώτα για το πλάσμα. Το πλάσμα είναι μια μορφή ύλης που αποτελείται κυρίως από ελεύθερα ηλεκτρόνια και φορτισμένα ιόντα. Υπάρχει ευρέως στο σύμπαν και συχνά θεωρείται ως η τέταρτη κατάσταση της ύλης. Ονομάζεται κράτος πλάσματος, που ονομάζεται επίσης "πλάσμα". Το πλάσμα έχει υψηλή ηλεκτρική αγωγιμότητα και έχει έντονη επίδραση σύζευξης με ηλεκτρομαγνητικό πεδίο. Πρόκειται για ένα μερικώς ιονισμένο αέριο, που αποτελείται από ηλεκτρόνια, ιόντα, ελεύθερες ρίζες, ουδέτερα σωματίδια και φωτόνια. Το ίδιο το πλάσμα είναι ένα ηλεκτρικά ουδέτερο μίγμα που περιέχει σωματικά και χημικά ενεργά σωματίδια.

Η απλή εξήγηση είναι ότι κάτω από τη δράση της υψηλής ενέργειας, το μόριο θα ξεπεράσει τη δύναμη van der Waals, τη δύναμη των χημικών δεσμών και τη δύναμη Coulomb και θα παρουσιάσει μια μορφή ουδέτερης ηλεκτρικής ενέργειας στο σύνολό της. Ταυτόχρονα, η υψηλή ενέργεια που μεταδίδεται από το εξωτερικό ξεπερνά τις παραπάνω τρεις δυνάμεις. Η λειτουργία, τα ηλεκτρόνια και τα ιόντα παρουσιάζουν μια ελεύθερη κατάσταση, η οποία μπορεί να χρησιμοποιηθεί τεχνητά υπό τη διαμόρφωση ενός μαγνητικού πεδίου, όπως η διαδικασία χάραξης ημιαγωγών, η διαδικασία CVD, η PVD και η διαδικασία IMP.

Τι είναι η υψηλή ενέργεια; Θεωρητικά, μπορούν να χρησιμοποιηθούν τόσο υψηλής θερμοκρασίας όσο και υψηλής συχνότητας RF. Σε γενικές γραμμές, η υψηλή θερμοκρασία είναι σχεδόν αδύνατο να επιτευχθεί. Αυτή η απαίτηση θερμοκρασίας είναι πολύ υψηλή και μπορεί να είναι κοντά στη θερμοκρασία του ήλιου. Είναι βασικά αδύνατο να επιτευχθεί στη διαδικασία. Ως εκ τούτου, η βιομηχανία χρησιμοποιεί συνήθως RF υψηλής συχνότητας για να την επιτύχει. Το πλάσμα RF μπορεί να φτάσει μέχρι και 13MHz+.

Το εξελιφρόριο βολφραμίου είναι πλάκα στο πλαίσιο της δράσης ενός ηλεκτρικού πεδίου, και στη συνέχεια με ατμό που εξαρτάται από ένα μαγνητικό πεδίο. Τα άτομα W είναι παρόμοια με τα φτερά της χειμερινής χήνας και πέφτουν στο έδαφος κάτω από τη δράση της βαρύτητας. Σιγά -σιγά, τα άτομα W εναποτίθενται στις τρύπες και τελικά γεμίζουν με τρύπες για να σχηματίσουν μεταλλικές διασυνδέσεις. Εκτός από την εναπόθεση ατόμων W στις τρύπες, θα κατατεθούν επίσης στην επιφάνεια του δίσκου; Ναι, σίγουρα. Σε γενικές γραμμές, μπορείτε να χρησιμοποιήσετε τη διαδικασία W-CMP, η οποία ονομάζουμε τη μηχανική διαδικασία λείανσης για να αφαιρέσετε. Είναι παρόμοιο με τη χρήση σκούπας για να σκουπίσει το πάτωμα μετά από βαρύ χιόνι. Το χιόνι στο έδαφος σαρώνεται, αλλά το χιόνι στην τρύπα στο έδαφος θα παραμείνει. Κάτω, περίπου το ίδιο.