Τα κοινά ειδικά ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο περιλαμβάνουνHexafluoride θείου (SF6), Hungsten Hexafluoride (WF6),Τετραφλουρίδη άνθρακα (CF4), τριφθορομεθάνιο (CHF3), τριφθορίδιο αζώτου (NF3), εξαφθοροαιθάνιο (C2F6) και οκταφθοροπροπάνιο (C3F8).
Με την ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας και την ανάπτυξη μεγάλης κλίμακας της βιομηχανίας ηλεκτρονικών, η απαίτησή της θα αυξηθεί καθημερινά. Το τριφθορίδιο του αζώτου, ως ένα απαραίτητο και μεγαλύτερο ειδικό ηλεκτρονικό αέριο στην παραγωγή και επεξεργασία των πάνελ και των ημιαγωγών, έχει ευρύ χώρο στην αγορά.
Ως τύπος ειδικού αερίου που περιέχει φθορίου,τριφθορίδιο αζώτου (NF3)είναι το ηλεκτρονικό ειδικό προϊόν φυσικού αερίου με τη μεγαλύτερη χωρητικότητα της αγοράς. Είναι χημικά αδρανή σε θερμοκρασία δωματίου, πιο δραστική από το οξυγόνο σε υψηλή θερμοκρασία, πιο σταθερή από την φθορίνη και εύκολο στη διαχείριση. Το τριφθορίδιο του αζώτου χρησιμοποιείται κυρίως ως αέριο χάραξης πλάσματος και ένας παράγοντας καθαρισμού του θαλάμου αντίδρασης και είναι κατάλληλος για τα πεδία παραγωγής των τσιπ ημιαγωγών, των οθονών επίπεδων πλαισίων, των οπτικών ινών, των φωτοβολταϊκών κυττάρων κλπ.
Σε σύγκριση με άλλα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθορίου,τριφθορίδιο αζώτουΈχει τα πλεονεκτήματα της ταχείας αντίδρασης και της υψηλής απόδοσης. Ειδικά στη χάραξη υλικών που περιέχουν πυρίτιο, όπως το νιτρίδιο του πυριτίου, έχει υψηλό ρυθμό χάραξης και εκλεκτικότητα, αφήνοντας κανένα υπόλειμμα στην επιφάνεια του χαραγμένου αντικειμένου. Είναι επίσης ένας πολύ καλός πράκτορας καθαρισμού και δεν έχει ρύπανση στην επιφάνεια, η οποία μπορεί να καλύψει τις ανάγκες της διαδικασίας επεξεργασίας.
Χρόνος δημοσίευσης: Σεπ-14-2024
