Τα συνηθισμένα ειδικά ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο περιλαμβάνουνεξαφθοριούχο θείο (SF6), εξαφθοριούχο βολφράμιο (WF6),τετραφθοριούχος άνθρακας (CF4), τριφθορομεθάνιο (CHF3), τριφθοριούχο άζωτο (NF3), εξαφθοροαιθάνιο (C2F6) και οκταφθοροπροπάνιο (C3F8).
Με την ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας και την μεγάλης κλίμακας ανάπτυξη της ηλεκτρονικής βιομηχανίας, η ζήτησή της θα αυξάνεται μέρα με τη μέρα. Το τριφθοριούχο άζωτο, ως απαραίτητο και το πιο δημοφιλές ειδικό ηλεκτρονικό αέριο στην παραγωγή και επεξεργασία πάνελ και ημιαγωγών, έχει ευρύ πεδίο αγοράς.
Ως τύπος ειδικού αερίου που περιέχει φθόριο,τριφθοριούχο άζωτο (NF3)είναι το ηλεκτρονικό προϊόν ειδικού αερίου με τη μεγαλύτερη εμπορικά παραγωγική ικανότητα. Είναι χημικά αδρανές σε θερμοκρασία δωματίου, πιο ενεργό από το οξυγόνο σε υψηλή θερμοκρασία, πιο σταθερό από το φθόριο και εύκολο στη χρήση. Το τριφθοριούχο άζωτο χρησιμοποιείται κυρίως ως αέριο χάραξης πλάσματος και ως καθαριστικό θαλάμου αντίδρασης και είναι κατάλληλο για τους τομείς κατασκευής ημιαγωγικών τσιπ, επίπεδων οθονών, οπτικών ινών, φωτοβολταϊκών κυψελών κ.λπ.
Σε σύγκριση με άλλα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο,τριφθοριούχο άζωτοΈχει τα πλεονεκτήματα της γρήγορης αντίδρασης και της υψηλής απόδοσης. Ειδικά στη χάραξη υλικών που περιέχουν πυρίτιο, όπως το νιτρίδιο του πυριτίου, έχει υψηλό ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα, χωρίς να αφήνει υπολείμματα στην επιφάνεια του χαραγμένου αντικειμένου. Είναι επίσης ένα πολύ καλό καθαριστικό και δεν ρυπαίνει την επιφάνεια, γεγονός που μπορεί να καλύψει τις ανάγκες της διαδικασίας επεξεργασίας.
Ώρα δημοσίευσης: 14 Σεπτεμβρίου 2024
