Τα κοινά ειδικά ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο περιλαμβάνουνεξαφθοριούχο θείο (SF6), εξαφθοριούχο βολφράμιο (WF6),τετραφθοριούχος άνθρακας (CF4), τριφθορομεθάνιο (CHF3), τριφθοριούχο άζωτο (NF3), εξαφθοροαιθάνιο (C2F6) και οκταφθοροπροπάνιο (C3F8).
Με την ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας και τη μεγάλης κλίμακας ανάπτυξη της βιομηχανίας ηλεκτρονικών, η ζήτησή της θα αυξάνεται μέρα με τη μέρα. Το τριφθοριούχο άζωτο, ως απαραίτητο και περισσότερο χρησιμοποιούμενο ειδικό ηλεκτρονικό αέριο στην παραγωγή και επεξεργασία πάνελ και ημιαγωγών, έχει ευρύ χώρο στην αγορά.
Ως τύπος ειδικού αερίου που περιέχει φθόριο,τριφθοριούχο άζωτο (NF3)είναι το ηλεκτρονικό ειδικό προϊόν αερίου με τη μεγαλύτερη δυναμικότητα της αγοράς. Είναι χημικά αδρανές σε θερμοκρασία δωματίου, πιο ενεργό από το οξυγόνο σε υψηλή θερμοκρασία, πιο σταθερό από το φθόριο και εύκολο στο χειρισμό. Το τριφθοριούχο άζωτο χρησιμοποιείται κυρίως ως αέριο χάραξης πλάσματος και ως παράγοντας καθαρισμού θαλάμου αντίδρασης και είναι κατάλληλο για τα πεδία κατασκευής τσιπ ημιαγωγών, επίπεδων οθονών, οπτικών ινών, φωτοβολταϊκών κυψελών κ.λπ.
Σε σύγκριση με άλλα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο,τριφθοριούχο άζωτοέχει τα πλεονεκτήματα της γρήγορης αντίδρασης και της υψηλής απόδοσης. Ειδικά στη χάραξη υλικών που περιέχουν πυρίτιο, όπως το νιτρίδιο του πυριτίου, έχει υψηλό ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα, χωρίς να αφήνει κατάλοιπα στην επιφάνεια του χαραγμένου αντικειμένου. Είναι επίσης πολύ καλό καθαριστικό και δεν έχει ρύπανση στην επιφάνεια, κάτι που μπορεί να καλύψει τις ανάγκες της διαδικασίας επεξεργασίας.
Ώρα δημοσίευσης: Σεπ-14-2024
