Η βιομηχανία ημιαγωγών και η βιομηχανία πάνελ της χώρας μας διατηρούν υψηλό επίπεδο ευημερίας. Το τριφθοριούχο άζωτο, ως απαραίτητο και με τον μεγαλύτερο όγκο ειδικού ηλεκτρονικού αερίου στην παραγωγή και επεξεργασία πάνελ και ημιαγωγών, έχει ευρύ χώρο στην αγορά.
Τα συνήθως χρησιμοποιούμενα ειδικά ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο περιλαμβάνουνεξαφθοριούχο θείο (SF6), εξαφθοριούχο βολφράμιο (WF6),τετραφθοριούχος άνθρακας (CF4), τριφθορομεθάνιο (CHF3), τριφθοριούχο άζωτο (NF3), εξαφθοροαιθάνιο (C2F6) και οκταφθοροπροπάνιο (C3F8). Το τριφθοριούχο άζωτο (NF3) χρησιμοποιείται κυρίως ως πηγή φθορίου για χημικά λέιζερ υψηλής ενέργειας υδροφθορίου-φθορίου. Το αποτελεσματικό μέρος (περίπου 25%) της ενέργειας αντίδρασης μεταξύ H2-O2 και F2 μπορεί να απελευθερωθεί με ακτινοβολία λέιζερ, επομένως τα λέιζερ HF-OF είναι τα πιο υποσχόμενα λέιζερ μεταξύ των χημικών λέιζερ.
Το τριφθοριούχο άζωτο είναι ένα εξαιρετικό αέριο χάραξης πλάσματος στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικής. Για τη χάραξη πυριτίου και νιτριδίου πυριτίου, το τριφθοριούχο άζωτο έχει υψηλότερο ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα από το τετραφθοριούχο άνθρακα και ένα μείγμα τετραφθοριούχου άνθρακα και οξυγόνου, και δεν έχει καμία ρύπανση στην επιφάνεια. Ειδικά στη χάραξη υλικών ολοκληρωμένων κυκλωμάτων με πάχος μικρότερο από 1,5 μm, το τριφθοριούχο άζωτο έχει πολύ εξαιρετικό ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα, χωρίς να αφήνει υπολείμματα στην επιφάνεια του χαραγμένου αντικειμένου, και είναι επίσης ένα πολύ καλό καθαριστικό. Με την ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας και την μεγάλης κλίμακας ανάπτυξη της βιομηχανίας ηλεκτρονικών, η ζήτησή του θα αυξάνεται μέρα με τη μέρα.
Ως τύπος ειδικού αερίου που περιέχει φθόριο, το τριφθοριούχο άζωτο (NF3) είναι το μεγαλύτερο ηλεκτρονικό ειδικό αέριο στην αγορά. Είναι χημικά αδρανές σε θερμοκρασία δωματίου, πιο ενεργό από το οξυγόνο, πιο σταθερό από το φθόριο και εύκολο στη χρήση σε υψηλή θερμοκρασία.
Το τριφθοριούχο άζωτο χρησιμοποιείται κυρίως ως αέριο χάραξης πλάσματος και ως καθαριστικό θαλάμου αντίδρασης, κατάλληλο για την κατασκευή πεδίων όπως τσιπ ημιαγωγών, επίπεδες οθόνες, οπτικές ίνες, φωτοβολταϊκά κύτταρα κ.λπ.
Σε σύγκριση με άλλα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθόριο, το τριφθοριούχο άζωτο έχει τα πλεονεκτήματα της γρήγορης αντίδρασης και της υψηλής απόδοσης, ειδικά στη χάραξη υλικών που περιέχουν πυρίτιο όπως το νιτρίδιο του πυριτίου, έχει υψηλό ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα, χωρίς να αφήνει υπολείμματα στην επιφάνεια του χαραγμένου αντικειμένου και είναι επίσης ένα πολύ καλό καθαριστικό, δεν ρυπαίνει την επιφάνεια και μπορεί να καλύψει τις ανάγκες της διαδικασίας επεξεργασίας.
Ώρα δημοσίευσης: 26 Δεκεμβρίου 2024
