Η μεγαλύτερη ποσότητα ηλεκτρονικού ειδικού αερίου - τριφθορίτης αζώτου NF3

Η βιομηχανία ημιαγωγών της χώρας μας και η βιομηχανία επιτροπών διατηρούν υψηλό επίπεδο ευημερίας. Το τριφθορίδιο του αζώτου, ως ένα ειδικό ηλεκτρονικό αέριο για την παραγωγή και την επεξεργασία των ομάδων και των ημιαγωγών, έχει ένα ευρύ χώρο.

Χρησιμοποιείται συνήθως ειδικά ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθορίουHexafluoride θείου (SF6), Hungsten Hexafluoride (WF6),Τετραφλουρίδη άνθρακα (CF4), τριφθορομεθάνιο (CHF3), τριφθορίδιο αζώτου (NF3), εξαφθοροαιθάνιο (C2F6) και οκταφθοροπροπάνιο (C3F8). Το τριφθορίδιο αζώτου (NF3) χρησιμοποιείται κυρίως ως πηγή φθορίου για χημικά λέιζερ υψηλής ενέργειας φθοριούχου φθορίου υδρογόνου. Το αποτελεσματικό τμήμα (περίπου 25%) της ενέργειας αντίδρασης μεταξύ H2-O2 και F2 μπορεί να απελευθερωθεί με ακτινοβολία λέιζερ, έτσι ώστε τα λέιζερ HF-OF είναι τα πιο ελπιδοφόρα λέιζερ μεταξύ χημικών λέιζερ.

Το τριφθορίδιο του αζώτου είναι ένα εξαιρετικό αέριο χάραξης πλάσματος στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικής. Για τη χάραξη του πυριτίου και του νιτριδίου πυριτίου, το τριφθορίδιο αζώτου έχει υψηλότερο ρυθμό χάραξης και εκλεκτικότητα από το τετραφλουριδικό άνθρακα και ένα μείγμα τετραφολιδίου άνθρακα και οξυγόνου και δεν έχει ρύπανση στην επιφάνεια. Ειδικά στη χάραξη των ενσωματωμένων υλικών κυκλωμάτων με πάχος μικρότερο από 1,5um, το τριφθορίδιο αζώτου έχει πολύ εξαιρετικό ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα, αφήνοντας κανένα υπόλειμμα στην επιφάνεια του χαραγμένου αντικειμένου και είναι επίσης ένας πολύ καλός παράγοντας καθαρισμού. Με την ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας και την ανάπτυξη μεγάλης κλίμακας της βιομηχανίας ηλεκτρονικών, η απαίτησή της θα αυξηθεί καθημερινά.

Ως είδος ειδικού αερίου που περιέχει φθορίου, το τριφθορίδιο αζώτου (NF3) είναι το μεγαλύτερο ηλεκτρονικό ειδικό προϊόν αερίου στην αγορά. Είναι χημικά αδρανές σε θερμοκρασία δωματίου, πιο δραστική από το οξυγόνο, πιο σταθερό από το φθοριοειδές και εύκολο να χειριστεί σε υψηλή θερμοκρασία.

Το τριφθορίδιο αζώτου χρησιμοποιείται κυρίως ως πράκτορας καθαρισμού του θαλάμου και του θαλάμου αντίδρασης, κατάλληλος για πεδία κατασκευής, όπως τσιπ ημιαγωγών, οθόνες επίπεδων πλαισίων, οπτικές ίνες, φωτοβολταϊκά κύτταρα κ.λπ. κλπ.

Σε σύγκριση με άλλα ηλεκτρονικά αέρια που περιέχουν φθορίνη, το τριφθορίδιο αζώτου έχει τα πλεονεκτήματα της γρήγορης αντίδρασης και της υψηλής απόδοσης, ειδικά στην χάραξη των υλικών που περιέχουν πυρίτιο, όπως το νιτρίδιο του πυριτίου, έχει ένα υψηλό ρυθμό χάραξης και εκλεκτικότητα, αφήνοντας κανένα υπόλειμμα στην επιφάνεια του χαραγμένου αντικειμένου και είναι επίσης ένας πολύ καλός πράκτορας και αυτό δεν είναι η επεξεργασία για να αντιμετωπίσει την επεξεργασία και την επεξεργασία του επεξεργασία.