Το 2018, η παγκόσμια αγορά ηλεκτρονικού αερίου για ολοκληρωμένα κυκλώματα έφτασε τα 4,512 δισεκατομμύρια δολάρια ΗΠΑ, σημειώνοντας ετήσια αύξηση 16%. Ο υψηλός ρυθμός ανάπτυξης της βιομηχανίας ηλεκτρονικού ειδικού αερίου για ημιαγωγούς και το τεράστιο μέγεθος της αγοράς έχουν επιταχύνει το εγχώριο σχέδιο υποκατάστασης του ηλεκτρονικού ειδικού αερίου!
Τι είναι το αέριο ηλεκτρονίων;
Το ηλεκτρονικό αέριο αναφέρεται στο βασικό υλικό που χρησιμοποιείται στην παραγωγή ημιαγωγών, επίπεδων οθονών, διόδων εκπομπής φωτός, ηλιακών κυψελών και άλλων ηλεκτρονικών προϊόντων και χρησιμοποιείται ευρέως στον καθαρισμό, τη χάραξη, τον σχηματισμό φιλμ, την πρόσμιξη και άλλες διεργασίες. Οι κύριοι τομείς εφαρμογής του ηλεκτρονικού αερίου περιλαμβάνουν τη βιομηχανία ηλεκτρονικών, τα ηλιακά κύτταρα, τις κινητές επικοινωνίες, την πλοήγηση αυτοκινήτων και τα συστήματα ήχου και βίντεο αυτοκινήτων, την αεροδιαστημική, τη στρατιωτική βιομηχανία και πολλούς άλλους τομείς.
Το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο μπορεί να χωριστεί σε επτά κατηγορίες ανάλογα με τη χημική του σύνθεση: πυρίτιο, αρσενικό, φώσφορο, βόριο, υδρίδιο μετάλλου, αλογονίδιο και αλκοξείδιο μετάλλου. Σύμφωνα με διαφορετικές μεθόδους εφαρμογής σε ολοκληρωμένα κυκλώματα, μπορεί να χωριστεί σε αέριο πρόσμιξης, αέριο επιταξίας, αέριο εμφύτευσης ιόντων, αέριο διόδου εκπομπής φωτός, αέριο χάραξης, αέριο χημικής εναπόθεσης ατμών και αέριο ισορροπίας. Υπάρχουν περισσότερα από 110 ειδικά αέρια μονάδας που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών, εκ των οποίων περισσότερα από 30 χρησιμοποιούνται συνήθως.
Γενικά, η βιομηχανία παραγωγής ημιαγωγών διαιρεί τα αέρια σε δύο τύπους: κοινά αέρια και ειδικά αέρια. Μεταξύ αυτών, το συνήθως χρησιμοποιούμενο αέριο αναφέρεται σε κεντρική παροχή και χρησιμοποιεί πολύ αέριο, όπως N2, H2, O2, Ar, He, κ.λπ. Ο όρος ειδικό αέριο αναφέρεται σε ορισμένα χημικά αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών, όπως η επέκταση, η έγχυση ιόντων, η ανάμειξη, η πλύση και ο σχηματισμός μάσκας, κάτι που τώρα ονομάζουμε ηλεκτρονικό ειδικό αέριο, όπως υψηλής καθαρότητας SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, κ.λπ.
Σε ολόκληρη τη διαδικασία παραγωγής της βιομηχανίας ημιαγωγών, από την ανάπτυξη τσιπ έως την τελική συσκευασία της συσκευής, σχεδόν κάθε κρίκος είναι άρρηκτα συνδεδεμένος με το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο, την ποικιλία του χρησιμοποιούμενου αερίου και τις υψηλές απαιτήσεις ποιότητας, επομένως το ηλεκτρονικό αέριο έχει ημιαγωγικά υλικά. "Τρόφιμα".
Τα τελευταία χρόνια, η νέα παραγωγική δυναμικότητα των κύριων ηλεκτρονικών εξαρτημάτων της Κίνας, όπως οι ημιαγωγοί και οι οθόνες, έχει αυξηθεί και υπάρχει ισχυρή ζήτηση για υποκατάσταση των εισαγωγών ηλεκτρονικών χημικών υλικών. Η θέση των ηλεκτρονικών αερίων στη βιομηχανία ημιαγωγών έχει αποκτήσει ολοένα και μεγαλύτερη σημασία. Η εγχώρια βιομηχανία ηλεκτρονικών αερίων θα οδηγήσει σε ταχεία ανάπτυξη.
Το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο έχει πολύ υψηλές απαιτήσεις καθαρότητας, επειδή εάν η καθαρότητα δεν ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις, οι ομάδες ακαθαρσιών όπως οι υδρατμοί και το οξυγόνο στο ηλεκτρονικό ειδικό αέριο θα σχηματίσουν εύκολα φιλμ οξειδίου στην επιφάνεια του ημιαγωγού, το οποίο επηρεάζει τη διάρκεια ζωής των ηλεκτρονικών συσκευών, και το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο περιέχει σωματίδια ακαθαρσιών που μπορούν να προκαλέσουν βραχυκυκλώματα ημιαγωγών και ζημιές στο κύκλωμα. Μπορεί να ειπωθεί ότι η βελτίωση της καθαρότητας παίζει ζωτικό ρόλο στην απόδοση και την απόδοση της παραγωγής ηλεκτρονικών συσκευών.
Με τη συνεχή ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών, η διαδικασία κατασκευής τσιπ συνεχίζει να βελτιώνεται και τώρα έχει φτάσει τα 5nm, το οποίο πλησιάζει στο όριο του Νόμου του Moore, το οποίο ισοδυναμεί με το ένα εικοστό της διαμέτρου μιας ανθρώπινης τρίχας (περίπου 0,1 mm). Συνεπώς, αυτό θέτει επίσης υψηλότερες απαιτήσεις για την καθαρότητα του ηλεκτρονικού ειδικού αερίου που παράγεται από τους ημιαγωγούς.
Ώρα δημοσίευσης: 15 Δεκεμβρίου 2021
