Το 2018, η παγκόσμια αγορά ηλεκτρονικού αερίου για ολοκληρωμένα κυκλώματα έφτασε τα 4,512 δισεκατομμύρια δολάρια ΗΠΑ, σημειώνοντας ετήσια αύξηση 16%. Ο υψηλός ρυθμός ανάπτυξης της ηλεκτρονικής βιομηχανίας ειδικού αερίου για ημιαγωγούς και το τεράστιο μέγεθος της αγοράς έχουν επιταχύνει το εγχώριο σχέδιο υποκατάστασης του ηλεκτρονικού ειδικού αερίου!
Τι είναι το αέριο ηλεκτρονίων;
Το ηλεκτρονικό αέριο αναφέρεται στο βασικό υλικό πηγής που χρησιμοποιείται στην παραγωγή ημιαγωγών, επίπεδων οθονών, διόδων εκπομπής φωτός, ηλιακών κυψελών και άλλων ηλεκτρονικών προϊόντων και χρησιμοποιείται ευρέως στον καθαρισμό, τη χάραξη, το σχηματισμό φιλμ, το ντόπινγκ και άλλες διαδικασίες. Οι κύριοι τομείς εφαρμογής του ηλεκτρονικού αερίου περιλαμβάνουν τη βιομηχανία ηλεκτρονικών, τα ηλιακά κύτταρα, τις κινητές επικοινωνίες, την πλοήγηση αυτοκινήτων και τα συστήματα ήχου και εικόνας αυτοκινήτου, την αεροδιαστημική, τη στρατιωτική βιομηχανία και πολλούς άλλους τομείς.
Το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο μπορεί να χωριστεί σε επτά κατηγορίες ανάλογα με τη δική του χημική σύσταση: πυρίτιο, αρσενικό, φώσφορο, βόριο, υδρίδιο μετάλλου, αλογονίδιο και αλκοξείδιο μετάλλου. Σύμφωνα με διαφορετικές μεθόδους εφαρμογής σε ολοκληρωμένα κυκλώματα, μπορεί να χωριστεί σε αέριο ντόπινγκ, αέριο επιταξίας, αέριο εμφύτευσης ιόντων, αέριο διόδου εκπομπής φωτός, αέριο χάραξης, αέριο απόθεσης χημικών ατμών και αέριο ισορροπίας. Υπάρχουν περισσότερες από 110 μονάδες ειδικών αερίων που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών, εκ των οποίων περισσότερες από 30 χρησιμοποιούνται συνήθως.
Γενικά, η βιομηχανία παραγωγής ημιαγωγών χωρίζει τα αέρια σε δύο τύπους: κοινά αέρια και ειδικά αέρια. Μεταξύ αυτών, το συνήθως χρησιμοποιούμενο αέριο αναφέρεται σε κεντρική παροχή και χρησιμοποιεί πολύ αέριο, όπως N2, H2, O2, Ar, He κ.λπ. Το ειδικό αέριο αναφέρεται σε ορισμένα χημικά αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών, όπως π.χ. επέκταση, έγχυση ιόντων, ανάμειξη, πλύσιμο και σχηματισμός μάσκας, που είναι αυτό που σήμερα ονομάζουμε ηλεκτρονικό ειδικό αέριο, όπως υψηλής καθαρότητας SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, κ.λπ.
Σε όλη τη διαδικασία παραγωγής της βιομηχανίας ημιαγωγών, από την ανάπτυξη τσιπ έως την τελική συσκευασία της συσκευής, σχεδόν κάθε σύνδεσμος είναι αχώριστος από το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο και την ποικιλία του αερίου που χρησιμοποιείται και τις υψηλές απαιτήσεις ποιότητας, επομένως το ηλεκτρονικό αέριο έχει υλικά ημιαγωγών. "Τροφή".
Τα τελευταία χρόνια, τα κύρια ηλεκτρονικά εξαρτήματα της Κίνας, όπως οι ημιαγωγοί και οι οθόνες, έχουν αυξηθεί σε νέα παραγωγική ικανότητα και υπάρχει έντονη ζήτηση για υποκατάσταση εισαγωγών ηλεκτρονικών χημικών υλικών. Η θέση των ηλεκτρονικών αερίων στη βιομηχανία ημιαγωγών γίνεται όλο και πιο εξέχουσα. Η εγχώρια βιομηχανία ηλεκτρονικών αερίου θα οδηγήσει σε ταχεία ανάπτυξη.
Το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο έχει πολύ υψηλές απαιτήσεις καθαρότητας, επειδή εάν η καθαρότητα δεν ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις, οι ομάδες ακαθαρσιών όπως οι υδρατμοί και το οξυγόνο στο ηλεκτρονικό ειδικό αέριο θα σχηματίσουν εύκολα φιλμ οξειδίου στην επιφάνεια του ημιαγωγού, το οποίο επηρεάζει την διάρκεια ζωής των ηλεκτρονικών συσκευών, και το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο περιέχει Τα σωματίδια ακαθαρσιών μπορεί να προκαλέσουν βραχυκυκλώματα ημιαγωγών και ζημιά στο κύκλωμα. Μπορεί να ειπωθεί ότι η βελτίωση της καθαρότητας παίζει ζωτικό ρόλο στην απόδοση και την απόδοση της παραγωγής ηλεκτρονικών συσκευών.
Με τη συνεχή ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών, η διαδικασία κατασκευής τσιπ συνεχίζει να βελτιώνεται και τώρα έχει φτάσει τα 5 nm, που πρόκειται να πλησιάσει το όριο του νόμου του Moore, που ισοδυναμεί με το ένα εικοστό της διαμέτρου μιας ανθρώπινης τρίχας ( περίπου 0,1 mm). Επομένως, αυτό θέτει επίσης υψηλότερες απαιτήσεις για την καθαρότητα του ηλεκτρονικού ειδικού αερίου που παράγεται από ημιαγωγούς.
Ώρα δημοσίευσης: Δεκ-15-2021
