Το 2018, η παγκόσμια αγορά ηλεκτρονικών φυσικών αερίων για ολοκληρωμένα κυκλώματα ανήλθε σε 4,512 δισεκατομμύρια δολάρια ΗΠΑ, αύξηση κατά 16%σε ετήσια βάση. Ο υψηλός ρυθμός ανάπτυξης της ηλεκτρονικής ειδικής βιομηχανίας φυσικού αερίου για τους ημιαγωγούς και το τεράστιο μέγεθος της αγοράς έχουν επιταχύνει το εγχώριο σχέδιο υποκατάστασης ηλεκτρονικού ειδικού αερίου!
Τι είναι το αέριο ηλεκτρονίων;
Το ηλεκτρονικό αέριο αναφέρεται στο βασικό αρχικό υλικό που χρησιμοποιείται στην παραγωγή ημιαγωγών, οθόνων επίπεδων πλαισίων, δίοδοι εκπομπής φωτός, ηλιακών κυττάρων και άλλων ηλεκτρονικών προϊόντων και χρησιμοποιείται ευρέως στον καθαρισμό, τη χάραξη, τον σχηματισμό φιλμ, το ντόπινγκ και άλλες διαδικασίες. Οι κύριες περιοχές εφαρμογής ηλεκτρονικού αερίου περιλαμβάνουν τη βιομηχανία ηλεκτρονικών ειδών, τα ηλιακά κύτταρα, τις κινητές επικοινωνίες, την πλοήγηση αυτοκινήτων και τα συστήματα ήχου και βίντεο αυτοκινήτων, αεροδιαστημική, στρατιωτική βιομηχανία και πολλούς άλλους τομείς.
Το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο μπορεί να χωριστεί σε επτά κατηγορίες σύμφωνα με τη δική του χημική σύνθεση: πυρίτιο, αρσενικό, φωσφόρο, βόριο, μεταλλικό υδρίδιο, αλογονίδιο και μεταλλικό αλκοξείδιο. Σύμφωνα με διαφορετικές μεθόδους εφαρμογής σε ολοκληρωμένα κυκλώματα, μπορεί να χωριστεί σε αέριο ντόπινγκ, αέριο επιταξίας, αέριο εμφύτευσης ιόντων, αέριο διόδου φωτός, αέριο χάραξης, αέριο εναπόθεσης χημικών ατμών και αέριο ισορροπίας. Υπάρχουν περισσότερα από 110 ειδικά αέρια που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών, εκ των οποίων περισσότερα από 30 χρησιμοποιούνται συνήθως.
Γενικά, η βιομηχανία παραγωγής ημιαγωγών χωρίζει τα αέρια σε δύο τύπους: κοινά αέρια και ειδικά αέρια. Μεταξύ αυτών, το συνήθως χρησιμοποιούμενο αέριο αναφέρεται σε μια κεντρική προσφορά και χρησιμοποιεί πολλά αέριο, όπως N2, H2, O2, AR, He, κλπ. Ειδικό αέριο αναφέρεται σε μερικά χημικά αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία της παραγωγής ημιαγωγών, όπως η επέκταση, η έγχυση ιόντων, η ανάμειξη, το πλύσιμο και ο σχηματισμός μάσκας, που ονομάζουμε τώρα ηλεκτρονικό αέριο, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, κλπ.
Σε ολόκληρη τη διαδικασία παραγωγής της βιομηχανίας ημιαγωγών, από την ανάπτυξη των τσιπ μέχρι τη συσκευασία της τελικής συσκευής, σχεδόν κάθε σύνδεσμος είναι αδιάσπαστος από το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο και η ποικιλία των χρησιμοποιούμενων και υψηλής ποιότητας απαιτήσεις, επομένως το ηλεκτρονικό αέριο έχει υλικά ημιαγωγών. "Τροφή".
Τα τελευταία χρόνια, τα σημαντικότερα ηλεκτρονικά εξαρτήματα της Κίνας, όπως οι ημιαγωγοί και τα πάνελ προβολής, έχουν αυξηθεί σε νέα παραγωγική ικανότητα και υπάρχει έντονη ζήτηση για υποκατάσταση των ηλεκτρονικών χημικών υλικών. Η θέση των ηλεκτρονικών αερίων στη βιομηχανία ημιαγωγών έχει γίνει ολοένα και πιο εμφανής. Η εγχώρια ηλεκτρονική βιομηχανία φυσικού αερίου θα προωθήσει την ταχεία ανάπτυξη.
Το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο έχει πολύ υψηλές απαιτήσεις για την καθαρότητα, διότι αν η καθαρότητα δεν είναι μέχρι τις απαιτήσεις, οι ομάδες ακαθαρσιών όπως ο υδρατμός και το οξυγόνο στο ηλεκτρονικό ειδικό αέριο θα σχηματίσουν εύκολα μεμβράνη οξειδίου στην επιφάνεια του ημιαγωγού, γεγονός που επηρεάζει την διάρκεια ζωής των ηλεκτρονικών συσκευών και το ηλεκτρονικό ειδικό αέριο περιέχει τα σωματίδια των ακαθαρσιών μπορεί να προκαλέσει τα κυκλώματα των ημιαγωγών και το κυκλικό κύκλωμα. Μπορεί να ειπωθεί ότι η βελτίωση της καθαρότητας διαδραματίζει ζωτικό ρόλο στην απόδοση και την απόδοση της παραγωγής ηλεκτρονικών συσκευών.
Με τη συνεχή ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών, η διαδικασία κατασκευής τσιπ συνεχίζει να βελτιώνεται και τώρα έχει φτάσει τα 5nm, η οποία πρόκειται να προσεγγίσει το όριο του νόμου του Moore, το οποίο ισοδυναμεί με το ένα εικοστό της διαμέτρου των ανθρώπινων μαλλιών (περίπου 0,1 mm). Ως εκ τούτου, αυτό αποτελεί επίσης υψηλότερες απαιτήσεις για την καθαρότητα του ηλεκτρονικού ειδικού αερίου που παράγεται από ημιαγωγούς.
Χρόνος δημοσίευσης: Δεκ-15-2021
