Χλωριούχο υδρογόνοείναι ένα άχρωμο αέριο με έντονη οσμή. Το υδατικό του διάλυμα ονομάζεται υδροχλωρικό οξύ, επίσης γνωστό ως υδροχλωρικό οξύ. Το υδρογόνο χλωριούχο είναι πολύ διαλυτό στο νερό. Στους 0 ° C, 1 όγκος νερού μπορεί να διαλύσει περίπου 500 όγκους υδρογόνου χλωριούχου.

Έχει τις ακόλουθες ιδιότητες και χαρακτηριστικά:

1. Υψηλή καθαρότητα

Η καθαρότητα της ηλεκτρονικής ποιότηταςχλωριούχο υδρογόνοείναι πολύ υψηλό, συνήθως σε PPM ή χαμηλότερο επίπεδο, για να διασφαλιστεί ότι δεν εισάγονται ακαθαρσίες στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών.

2. Αδράνεια

Πρόκειται για ένα χημικά αδρανές αέριο που δεν αντιδρά με πολλές άλλες ουσίες, κάτι που είναι πολύ σημαντικό για την αποφυγή μόλυνσης των υλικών και του εξοπλισμού ημιαγωγών.

3. Υψηλή σταθερότητα

Ηλεκτρονικός βαθμόςχλωριούχο υδρογόνοΓενικά έχει σταθερή χημεία για να εξασφαλίσει αξιόπιστη επεξεργασία ημιαγωγών.

Στην επεξεργασία ημιαγωγών, οι κύριες εφαρμογές του ηλεκτρονικού υδρογόνου βαθμού περιλαμβάνουν:

1. Καθαρισμός επιφάνειας και προετοιμασία

Ως αποτελεσματικό καθαριστικό επιφάνειας, ηλεκτρονική ποιότηταχλωριούχο υδρογόνοχρησιμοποιείται για την απομάκρυνση οξειδίων και ακαθαρσιών από την επιφάνεια του υποστρώματος για να εξασφαλιστεί η ποιότητα και η καθαρότητα του επιταξιακού στρώματος ή της μεμβράνης.

2. ΕΠΙΣΤΡΟΦΗ ΑΝΑΠΤΥΞΗ

Χρησιμοποιείται ως παράγοντας επεξεργασίας επιφάνειας στην επιταξιακή διαδικασία, βοηθά στη βελτίωση της ποιότητας του επιταξιακού στρώματος, τη βελτίωση της αντιστοίχισης των πλέγματος και τη μείωση του σχηματισμού ελαττωμάτων πλέγματος.

3. Προ -θεραπεία υποστρώματος

Πριν από την παρασκευή συσκευών ημιαγωγών, ηλεκτρονική ποιότηταχλωριούχο υδρογόνοΜπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη θεραπεία της επιφάνειας του υποστρώματος για να σχηματίσει μια σταθερή βάση για τη βελτίωση της προσκόλλησης μεταξύ του επιταξιακού στρώματος και του υποστρώματος.

4. Βοηθητικός πράκτορας εναπόθεσης

Στη διαδικασία της εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) ή της φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD), το ηλεκτρονικό υδρογόνο χλωριούχο μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως μέσο μεταφοράς αερίου για να συμμετάσχει στην αντίδραση εναπόθεσης των υλικών ημιαγωγών.

5.

Ως παράγοντας μεταφοράς αερίου φάσης, άλλοι αέροι πρόδρομοι εισάγονται στο θάλαμο αντίδρασης για να βοηθήσουν στην προσαρμογή του ρυθμού εναπόθεσης και της ομοιομορφίας του υλικού.

Αυτά τα χαρακτηριστικά κάνουν ηλεκτρονικό βαθμόχλωριούχο υδρογόνοΈνας σημαντικός παράγοντας επεξεργασίας στην τεχνολογία ημιαγωγών, η οποία έχει βασικό αντίκτυπο στην απόδοση και την αξιοπιστία της τελικής συσκευής.

Εκτός από τη χρήση του στην επεξεργασία των ημιαγωγών, το ηλεκτρονικό υδρογόνο χλωριούχο βαθμό μπορεί να βρει ποικιλία χρήσεων σε άλλες περιοχές, όπως: παρασκευή υλικών υψηλής καθαρότητας, κυψέλες καυσίμου, ανάπτυξη υλικού ημιαγωγού, λιθογραφία φάσης ατμών, ανάλυση υλικού, χημική έρευνα.

Γενικά, η ηλεκτρονική ποιότηταχλωριούχο υδρογόνοείναι ένα ευπροσάρμοστο αέριο υψηλής καθαρότητας που έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών εκτός της κατασκευής ημιαγωγών.