Επιταξιακό (ανάπτυξη)Ανάμικτο GAs

Στη βιομηχανία ημιαγωγών, το αέριο που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη ενός ή περισσοτέρων στρώσεων υλικού με εναπόθεση χημικών ατμών σε ένα προσεκτικά επιλεγμένο υπόστρωμα ονομάζεται επιταξιακό αέριο.

Τα συνήθως χρησιμοποιούμενα επιταξιακά αέρια του πυριτίου περιλαμβάνουν διχλωροσίνιο, τετραχλωρίδιο πυριτίου καισιλάνη. Χρησιμοποιείται κυρίως για εναπόθεση επιταξιακής πυριτίου, εναπόθεση μεμβράνης πυριτίου, εναπόθεση μεμβράνης νιτριδίου πυριτίου, απόθεση άμορφου φιλμ πυριτίου για ηλιακά κύτταρα και άλλους φωτοϋποδοχείς κλπ. Η επιταξία είναι μια διαδικασία στην οποία εναποτίθεται ένα μόνο κρυσταλλικό υλικό και αναπτύσσεται στην επιφάνεια ενός υποστρώματος.

Μικτό αέριο απόθεσης χημικών ατμών (CVD)

Η CVD είναι μια μέθοδος εναπόθεσης ορισμένων στοιχείων και ενώσεων με χημικές αντιδράσεις αερίου φάσης χρησιμοποιώντας πτητικές ενώσεις, δηλαδή, μια μέθοδο σχηματισμού μεμβράνης χρησιμοποιώντας χημικές αντιδράσεις φάσης αερίου. Ανάλογα με τον τύπο της μεμβράνης που σχηματίστηκε, το χρησιμοποιούμενο αέριο εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) είναι επίσης διαφορετικό.

ΝτοπάρισμαΜικτό αέριο

Στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, ορισμένες ακαθαρσίες μεταφέρονται σε υλικά ημιαγωγών για να δώσουν στα υλικά τον απαιτούμενο τύπο αγωγιμότητας και μια ορισμένη αντίσταση στις αντιστάσεις κατασκευής, οι διασταυρώσεις PN, τα θαμμένα στρώματα κλπ. Το αέριο που χρησιμοποιείται στη διαδικασία doping ονομάζεται αέριο doping.

Περιλαμβάνει κυρίως την αρσενίνη, τη φωσφίνη, το τριφθορίδιο φωσφόρου, το πενταφθορίδιο του φωσφόρου, το αρσενικό τριφθόριο, το αρσενικό πενταφλουόριο,τριφθορίτης, Diborane, κ.λπ.

Συνήθως, η πηγή ντόπινγκ αναμιγνύεται με αέριο φορέα (όπως αργόν και άζωτο) σε ένα υπουργικό συμβούλιο. Μετά την ανάμειξη, η ροή του αερίου εισάγεται συνεχώς στον κλίβανο διάχυσης και περιβάλλει το δίσκο, εναποτίθεται τα προσθέματα στην επιφάνεια του δισκίου και στη συνέχεια αντιδρά με πυρίτιο για να δημιουργήσει τα μπλουζάκια που μεταναστεύουν σε πυρίτιο.

ΧαλκογραφίαΜίγμα αερίου

Η χάραξη είναι να χαράξει την επιφάνεια επεξεργασίας (όπως μεταλλική μεμβράνη, μεμβράνη οξειδίου του πυριτίου κ.λπ.) στο υπόστρωμα χωρίς κάλυψη φωτοανθεραπείας, διατηρώντας παράλληλα την περιοχή με κάλυψη φωτοαντισκόπησης, έτσι ώστε να ληφθεί το απαιτούμενο πρότυπο απεικόνισης στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Οι μέθοδοι χάραξης περιλαμβάνουν υγρή χημική χάραξη και ξηρή χημική χάραξη. Το αέριο που χρησιμοποιείται σε ξηρή χημική χάραξη ονομάζεται αέριο χάραξης.

Το αέριο χάραξης είναι συνήθως αέριο φθορίου (αλογονίδιο), όπωςάνθρακα τετραφλουσόριο, τριφθορίδιο αζώτου, τριφθορομεθάνιο, εξαφθοροαιθάνιο, υπερφθοροπροπανίου κ.λπ.