Επιταξιακή (ανάπτυξη)Μικτή Γαs

Στη βιομηχανία ημιαγωγών, το αέριο που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη ενός ή περισσότερων στρωμάτων υλικού μέσω χημικής εναπόθεσης ατμών σε ένα προσεκτικά επιλεγμένο υπόστρωμα ονομάζεται επιταξιακό αέριο.

Τα συνήθως χρησιμοποιούμενα επιταξιακά αέρια πυριτίου περιλαμβάνουν το διχλωροσιλάνιο, το τετραχλωριούχο πυρίτιο καισιλάνιοΧρησιμοποιείται κυρίως για επιταξιακή εναπόθεση πυριτίου, εναπόθεση μεμβράνης οξειδίου του πυριτίου, εναπόθεση μεμβράνης νιτριδίου του πυριτίου, εναπόθεση άμορφης μεμβράνης πυριτίου για ηλιακά κύτταρα και άλλους φωτοϋποδοχείς, κ.λπ. Η επιταξία είναι μια διαδικασία κατά την οποία ένα μονοκρυσταλλικό υλικό εναποτίθεται και αναπτύσσεται στην επιφάνεια ενός υποστρώματος.

Χημική εναπόθεση ατμών (CVD) Μικτό αέριο

Η χημική εναπόθεση ατμών (CVD) είναι μια μέθοδος εναπόθεσης ορισμένων στοιχείων και ενώσεων μέσω χημικών αντιδράσεων αέριας φάσης χρησιμοποιώντας πτητικές ενώσεις, δηλαδή μια μέθοδος σχηματισμού φιλμ που χρησιμοποιεί χημικές αντιδράσεις αέριας φάσης. Ανάλογα με τον τύπο του φιλμ που σχηματίζεται, το αέριο χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) που χρησιμοποιείται είναι επίσης διαφορετικό.

ΝτοπάρισμαΜικτό αέριο

Στην κατασκευή ημιαγωγικών διατάξεων και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, ορισμένες ακαθαρσίες προστίθενται σε ημιαγωγικά υλικά για να δώσουν στα υλικά τον απαιτούμενο τύπο αγωγιμότητας και μια ορισμένη ειδική αντίσταση για την κατασκευή αντιστάσεων, επαφών PN, θαμμένων στρωμάτων κ.λπ. Το αέριο που χρησιμοποιείται στη διαδικασία προσμίξεως ονομάζεται αέριο προσμίξεως.

Περιλαμβάνει κυρίως αρσίνη, φωσφίνη, τριφθοριούχο φώσφορο, πενταφθοριούχο φώσφορο, τριφθοριούχο αρσενικό, πενταφθοριούχο αρσενικό,τριφθοριούχο βόριο, διβοράνιο, κ.λπ.

Συνήθως, η πηγή πρόσμιξης αναμειγνύεται με ένα αέριο φορέα (όπως αργό και άζωτο) σε ένα θάλαμο πηγής. Μετά την ανάμειξη, η ροή αερίου εγχέεται συνεχώς στον κλίβανο διάχυσης και περιβάλλει το πλακίδιο, εναποθέτοντας προσμίξεις στην επιφάνεια του πλακιδίου και στη συνέχεια αντιδρώντας με πυρίτιο για να δημιουργήσει προσμιχμένα μέταλλα που μεταναστεύουν στο πυρίτιο.

ΧαλκογραφίαΜείγμα αερίων

Η χάραξη είναι η χάραξη της επιφάνειας επεξεργασίας (όπως μεταλλική μεμβράνη, μεμβράνη οξειδίου του πυριτίου κ.λπ.) στο υπόστρωμα χωρίς κάλυψη φωτοευαίσθητου υλικού, διατηρώντας παράλληλα την περιοχή με κάλυψη φωτοευαίσθητου υλικού, έτσι ώστε να επιτευχθεί το απαιτούμενο μοτίβο απεικόνισης στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Οι μέθοδοι χάραξης περιλαμβάνουν την υγρή χημική χάραξη και την ξηρή χημική χάραξη. Το αέριο που χρησιμοποιείται στην ξηρή χημική χάραξη ονομάζεται αέριο χάραξης.

Το αέριο χάραξης είναι συνήθως αέριο φθορίου (αλογονίδιο), όπωςτετραφθοριούχος άνθρακας, τριφθοριούχο άζωτο, τριφθορομεθάνιο, εξαφθοροαιθάνιο, υπερφθοροπροπάνιο, κ.λπ.