Τριχλωριούχο βόριο (BCl3)είναι μια ανόργανη ένωση που χρησιμοποιείται συνήθως σε διεργασίες ξηρής χάραξης και χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) στην κατασκευή ημιαγωγών. Είναι ένα άχρωμο αέριο με έντονη οσμή σε θερμοκρασία δωματίου και είναι ευαίσθητο στον υγρό αέρα επειδή υδρολύεται για να παράγει υδροχλωρικό οξύ και βορικό οξύ.

Εφαρμογές του τριχλωριούχου βορίου

Στη βιομηχανία ημιαγωγών,τριχλωριούχο βόριοΧρησιμοποιείται κυρίως για την ξηρή χάραξη αλουμινίου και ως προσμίκτης για τον σχηματισμό περιοχών τύπου P σε πλακίδια πυριτίου. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για τη χάραξη υλικών όπως GaAs, Si, AlN, και ως πηγή βορίου σε ορισμένες συγκεκριμένες εφαρμογές. Επιπλέον, το τριχλωριούχο βόριο χρησιμοποιείται ευρέως στην επεξεργασία μετάλλων, στη βιομηχανία γυαλιού, στη χημική ανάλυση και στην εργαστηριακή έρευνα.

Ασφάλεια του τριχλωριούχου βορίου

τριχλωριούχο βόριοείναι διαβρωτικό και τοξικό και μπορεί να προκαλέσει σοβαρές βλάβες στα μάτια και το δέρμα. Υδρολύεται στον υγρό αέρα απελευθερώνοντας τοξικό αέριο υδροχλώριο. Επομένως, πρέπει να λαμβάνονται κατάλληλα μέτρα ασφαλείας κατά τον χειρισμότριχλωριούχο βόριο, συμπεριλαμβανομένης της χρήσης προστατευτικού ρουχισμού, γυαλιών και εξοπλισμού αναπνευστικής προστασίας, και της λειτουργίας σε καλά αεριζόμενο περιβάλλον.