Trichloride Boron (BCL3)είναι μια ανόργανη ένωση που χρησιμοποιείται συνήθως στις διαδικασίες στεγνής χάραξης και χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) στην κατασκευή ημιαγωγών. Είναι ένα άχρωμο αέριο με ισχυρή έντονη οσμή σε θερμοκρασία δωματίου και είναι ευαίσθητο στον υγρό αέρα επειδή υδρολύει για να παράγει υδροχλωρικό οξύ και βορικό οξύ.

Εφαρμογές τριχλωριούχου βορίου

Στη βιομηχανία ημιαγωγών,Τριχλωρίδιο βορίουΧρησιμοποιείται κυρίως για ξηρή χάραξη αλουμινίου και ως προσφυγή για να σχηματίσουν περιοχές τύπου Ρ σε πλακίδια πυριτίου. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για τη χαράξτε τα υλικά όπως το GAAS, το SI, το ALN και ως πηγή βορίου σε ορισμένες συγκεκριμένες εφαρμογές. Επιπλέον, το τριχλωρίδιο του βορίου χρησιμοποιείται ευρέως στην επεξεργασία μετάλλων, στη βιομηχανία γυαλιού, στη χημική ανάλυση και στην εργαστηριακή έρευνα.

Ασφάλεια του τριχλωριούχου βορίου

Τριχλωρίδιο βορίουείναι διαβρωτικό και τοξικό και μπορεί να προκαλέσει σοβαρή ζημιά στα μάτια και το δέρμα. Υδρολύει σε υγρό αέρα για να απελευθερώσει τοξικό αέριο υδρογόνου. Επομένως, πρέπει να λαμβάνονται κατάλληλα μέτρα ασφαλείας κατά τον χειρισμόΤριχλωρίδιο βορίου, συμπεριλαμβανομένης της φθοράς προστατευτικών ενδυμάτων, των γυαλιών και του αναπνευστικού εξοπλισμού προστασίας και τη λειτουργία σε ένα καλά αεριζόμενο περιβάλλον.