Τετραφθοριούχος άνθρακας (CF4)

Τεχνικές παράμετροι

Ο τετραφθοράνθρακας είναι ένας αλογονωμένος υδρογονάνθρακας με χημικό τύπο CF4. Μπορεί να θεωρηθεί ως αλογονωμένος υδρογονάνθρακας, αλογονωμένο μεθάνιο, υπερφθοράνθρακας ή ως ανόργανη ένωση. Ο τετραφθοράνθρακας είναι ένα άχρωμο και άοσμο αέριο, αδιάλυτο στο νερό, διαλυτό στο βενζόλιο και το χλωροφόρμιο. Σταθερό υπό κανονική θερμοκρασία και πίεση, αποφύγετε ισχυρά οξειδωτικά, εύφλεκτα ή εύφλεκτα υλικά. Μη εύφλεκτο αέριο, η εσωτερική πίεση του δοχείου θα αυξηθεί όταν εκτεθεί σε υψηλή θερμότητα και υπάρχει κίνδυνος ρωγμάτωσης και έκρηξης. Είναι χημικά σταθερό και μη εύφλεκτο. Μόνο το αντιδραστήριο υγρής αμμωνίας-μεταλλικού νατρίου μπορεί να λειτουργήσει σε θερμοκρασία δωματίου. Ο τετραφθοράνθρακας είναι ένα αέριο που προκαλεί το φαινόμενο του θερμοκηπίου. Είναι πολύ σταθερό, μπορεί να παραμείνει στην ατμόσφαιρα για μεγάλο χρονικό διάστημα και είναι ένα πολύ ισχυρό αέριο του θερμοκηπίου. Ο τετραφθοράνθρακας χρησιμοποιείται στη διαδικασία χάραξης πλάσματος διαφόρων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Χρησιμοποιείται επίσης ως αέριο λέιζερ και χρησιμοποιείται σε ψυκτικά μέσα χαμηλής θερμοκρασίας, διαλύτες, λιπαντικά, μονωτικά υλικά και ψυκτικά μέσα για ανιχνευτές υπέρυθρων. Είναι το πιο χρησιμοποιούμενο αέριο χάραξης πλάσματος στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικής. Είναι ένα μείγμα αερίου υψηλής καθαρότητας τετραφθορομεθανίου και αερίου υψηλής καθαρότητας τετραφθορομεθανίου και οξυγόνου υψηλής καθαρότητας. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί ευρέως σε πυρίτιο, διοξείδιο του πυριτίου, νιτρίδιο του πυριτίου και φωσφοροπυριτικό γυαλί. Η χάραξη υλικών λεπτής μεμβράνης όπως το βολφράμιο και το βολφράμιο χρησιμοποιείται επίσης ευρέως στον καθαρισμό επιφανειών ηλεκτρονικών συσκευών, στην παραγωγή ηλιακών κυψελών, στην τεχνολογία λέιζερ, στην ψύξη χαμηλής θερμοκρασίας, στην επιθεώρηση διαρροών και στο απορρυπαντικό στην παραγωγή τυπωμένων κυκλωμάτων. Χρησιμοποιείται ως ψυκτικό χαμηλής θερμοκρασίας και τεχνολογία ξηρής χάραξης πλάσματος για ολοκληρωμένα κυκλώματα. Προφυλάξεις αποθήκευσης: Φυλάσσετε σε δροσερή, αεριζόμενη αποθήκη μη εύφλεκτων αερίων. Μακριά από πηγές φωτιάς και θερμότητας. Η θερμοκρασία αποθήκευσης δεν πρέπει να υπερβαίνει τους 30°C. Πρέπει να αποθηκεύεται ξεχωριστά από εύκολα (εύφλεκτα) καύσιμα και οξειδωτικά και να αποφεύγεται η μικτή αποθήκευση. Ο χώρος αποθήκευσης πρέπει να είναι εξοπλισμένος με εξοπλισμό έκτακτης ανάγκης για την αντιμετώπιση διαρροών.

Εφαρμογή:

① Ψυκτικό μέσο:

Το τετραφθορομεθάνιο χρησιμοποιείται μερικές φορές ως ψυκτικό μέσο χαμηλής θερμοκρασίας.

② Χάραξη:

Χρησιμοποιείται στην μικροκατασκευή ηλεκτρονικών μόνο του ή σε συνδυασμό με οξυγόνο ως μέσο χάραξης πλάσματος για πυρίτιο, διοξείδιο του πυριτίου και νιτρίδιο του πυριτίου.

Κανονική συσκευασία:

Πλεονέκτημα:

①Υψηλή καθαρότητα, πιο πρόσφατη εγκατάσταση.

②Κατασκευαστής πιστοποιητικών ISO;

③Γρήγορη παράδοση;

④Σύστημα ανάλυσης σε απευθείας σύνδεση για τον ποιοτικό έλεγχο σε κάθε βήμα.

⑤Υψηλή απαίτηση και σχολαστική διαδικασία για τον χειρισμό του κυλίνδρου πριν από την πλήρωση.